先进工艺突破：鼎龙光刻胶打入头部晶圆厂

最近一段时间，先进工艺领域的突破性消息接连传来。除了光刻机这个“老大难”，光刻胶这块儿的脖子也没少被卡。

好消息是，国内又有公司在这个赛道上杀出来了，而且直接打进了头部晶圆厂的供应体系。

关键数据：8款高端光刻胶获批量订单

鼎龙股份这周发了个公告，核心信息量不小：他们的KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线，自今年3月20日投产后，已经向两家头部晶圆厂交付了数百加仑的产品。

并且是在客户的量产线上跑通了的。更重要的是，这两家客户最近又追加了近1000加仑的订单。

具体来看几个关键数字。截至目前，鼎龙已经有8款高端晶圆光刻胶拿到了国内主流晶圆厂的批量订单——其中ArF和KrF光刻胶各4款，对比今年一季度末，等于一下子多了5款。

此外，还有好几款产品预期今年内就能完成订单转化。公司方面也在提速，2026年上半年的产品交付量预计会有明显攀升。

测试进展与产品布局

测试进展也值得关注。鼎龙目前已经布局了40多款高端晶圆光刻胶，其中近30款已经送样给客户做验证测试，超过10款进入了加仑样测试阶段。

这个节奏和覆盖面，在国内厂商里算相当快的。

那么，这次公告的“含金量”到底在哪？坦白说，之前国内也有四五家公司宣布过ArF光刻胶出样，但大多是含糊带过，很少透露具体的技术级别。鼎龙这次特别提到了“浸没式ArF”这个关键词，这就很不一样了。

浸没式ArF：技术含金量解析

光刻胶虽然是半导体制造的核心材料，但不同产品之间的技术差距可以很大。最顶尖的是EUV光刻胶，国内还在攻关；主流的ArF光刻胶，则对应193nm波长的DUV光刻机。

但同样是ArF，干式和浸没式的差别堪称“天壤之别”。干式ArF一般用在28nm及以上的工艺，而浸没式ArF（有时缩写为ArFi）则能支持到14nm乃至7nm节点，技术难度直接上了一个甚至两个台阶。

顺便提一句，根据德邦证券2022年的一份研报，ArF光刻胶的价格大约在1000万元一吨。这两年半导体材料普遍涨价，实际价格只会更高。所以，能在这个级别上拿到头部客户的批量订单，含金量可想而知。

市场价值与竞争格局

说到底，这次鼎龙公告里最有分量的，就是“浸没式ArF光刻胶”供货国内两大头部晶圆厂这一条。在此之前，国内只有南大光电去年公开宣布过给晶圆厂出样浸没式ArF光刻胶，其他厂商大多只是含糊提到ArF或KrF。

至于更详细的技术指标，别说公告里不会写，估计也没有哪家企业愿意把核心参数亮出来。一来是产业发展的保密需要，二来，对资本市场来说，这种“恰到好处的模糊感”，本身也是一种想象空间。

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