韩国专家不信有国家能自研EUV光刻机：10年都搞不定

在尖端芯片制造的赛道上，EUV光刻机是一道绕不过去的坎。它是5纳米及更先进工艺的绝对核心。

目前，这台机器的生产被荷兰ASML公司独家垄断。要知道，这并非一家公司之功，其背后是美国、欧洲及亚洲多国顶尖技术的结晶。

自研EUV：一项艰巨的挑战

正因如此，当有国家试图挑战这一领域，宣布要自主研发EUV时，其难度可想而知。

光刻机常被誉为“工业皇冠上的明珠”。而EUV技术的复杂程度，又在常规的DUV光刻机之上提升了一到两个量级，单台售价动辄数亿美元。

韩国专家的质疑

对于这项雄心勃勃的计划，业界看法不一。韩国媒体近日援引了汉阳大学材料科学教授安振浩的观点，他对此持保留态度。

安教授认为，在十年内开发出能够用于大规模生产的EUV光刻机，可能性微乎其微。

安振浩教授并非泛泛之辈，他刚刚荣获韩国工程院大奖，是科班出身的资深专家。即便如此，他对于外界传闻的“2028年交付量产型EUV光刻机”的时间表，明确表示了怀疑。

质疑背后的理由

他的理由很直接：

• 即便是像尼康这样深耕光刻技术数十年的行业巨头，也从未在EUV领域取得实质性突破。
• 这充分说明，攻克此项技术绝非依靠决心和投入就能一蹴而就，它存在着极高的技术壁垒。

安教授进一步指出，ASML的成功也并非孤例。该公司耗费了数十年时间研发EUV技术，并且依赖于一个高度协同、紧密配合的全球生态链。

例如：

• 德国蔡司的极致光学系统；
• 特定的尖端光源技术。

这是一个系统性的工程。

不同的声音与观点

当然，对于安教授的这番论断，也存在不同的声音。

有观点认为，其论证逻辑略显单薄：

• 尼康未能攻克EUV，并不能直接推导出其他玩家也必然失败。
• 将“全球协同”视为不可复制的绝对前提，也忽略了特定国家内部可能存在的、深度且庞大的科研协作体系。

毕竟，后者的研究机构规模与内部合作深度，未必亚于一项国际联合项目。

说到底，安教授接受韩国媒体采访时的言论，或许更多是基于行业普遍认知的泛泛之谈。

他可能并未深入了解某个具体国家在EUV领域的详细研究布局与实际进展。因此，这番“十年搞不定”的论断，在部分观察者看来，其依据似乎不够充分。

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